リニア伸縮式トランスファーアーム

リニアテレスコピックトランスファーアームとは何ですか?

リニア伸縮式トランスファー アームは、単一の直線経路に沿って伸縮するマテリアル ハンドリング メカニズムであり、プロセス チャンバ、保管ラック、またはコンベア ラインに到達し、ワークピースを持ち上げたり配置したり、ホーム ポジションに戻ることができます。-通常、先端にグリッパー、真空エンド エフェクタ、またはフォークと組み合わせられます。{2}純粋に押す力と引く力に重点を置いた一般的な伸縮式アクチュエータとは異なり、トランスファー アームは、拡張{6}}回収-サイクル中にペイロードを運び、正確に配置することを目的として設計されています。{4}

構造

アームは、入れ子または積み重ねられたリニア ガイド セグメント (多くの場合、シザー{0}リンク、ローラー-チェーン、または同期ベルト駆動の伸縮フレーム) で構成され、ペイロードの搬送端をアームの格納された設置面積をはるかに超えて拡張し、ベース キャリッジに取り付けられており、ベース キャリッジ自体は別の搬送軸上を移動します。サーボ モーターは、ラック{6}}アンド-ピニオン、タイミング ベルト、親ネジ-を頻繁に介して拡張機構を駆動します。一方、先端にはワークピースに適した交換可能なエンド エフェクタが搭載されており、後退する前にセンサーが部品の存在と位置を確認します。-

選択に関する考慮事項

主な要素には、最大リーチ（拡張ストローク）、完全拡張時の可搬質量、拡張 / 収縮速度、ピック / プレース ポイントでの位置決め精度と再現性、エンドエフェクタの互換性、負荷時の最大リーチでのたわみまたは垂下が含まれます。{0}高速の拡張機構では位置決め精度がある程度犠牲になる可能性があるため、サイクル タイム要件とデューティ サイクルをドライブのタイプと比較検討する必要があります。-

アプリケーション

リニア伸縮式搬送アームは、プロセス チャンバー間の半導体ウェーハの搬送、倉庫のパレットとケースの取り出し、自動保管および取り出しシステム (AS/RS)、オーブンおよびキルンのロード/アンロード、および完全なロボットの関節運動を使用せずに部品を狭い空間に到達させて取り出す必要がある CNC マシンのメンテナンスに使用されます。

インストールに関する考慮事項

ベースキャリッジは、荷重がかかった状態で伸長する際のたわみを防ぐために、水平かつ堅固に取り付ける必要があります。周囲の機器やチャンバー壁との衝突を避けるために、拡張/後退経路全体に沿ったクリアランスを確認する必要があります。生産の試運転前に、エンドエフェクタの位置合わせと部品-存在センサーを校正し、代表的な積載量でフルストロークの伸縮サイクルをテストする必要があります。-

他のプロジェクトもご覧いただくか、Youtube のビデオ ギャラリーをご覧ください: https://www.youtube.com/@tallmanrobotics

鋼タイプ: ガイド レール-リニア モジュール内蔵。モジュールの底板はスチール、スライディングブロックはスチール、スライディングシートのカバープレートとサポートシートはアルミニウムです。

TK スチール ガイド レール-リニア モジュール内蔵s負荷 仕様

TK スチール ガイド レール-リニア モジュール内蔵s 精度レベル

TK スチール ガイド レール-リニア モジュール内蔵s 最高速度

よくある質問

伸縮式トランスファー アームは、回転ジョイントを備えたロボット アームとどのように異なりますか?

伸縮式トランスファー アームは単一の直線状の伸縮パスに沿って移動し、簡単な到達と回収タスクを実現します。一方、回転関節ロボット アームは、プログラミングと制御の複雑性を犠牲にして多方向の柔軟性を提供します。{0}{2}{3}

伸縮式搬送アームの最大到達範囲は何によって決まりますか?

最大リーチは、入れ子またはリンクされたセグメントの数と駆動機構のストローク容量によって決まり、セグメントが多いほどリーチは長くなりますが、一般に先端の剛性と負荷容量が低下します。

伸縮式トランスファー アームは重いペイロードや壊れやすいペイロードを運ぶことができますか?

はい。エンドエフェクタと駆動機構がペイロードの重量と脆弱性に適合していれば可能ですが、通常、カンチレバーの荷重が増加するため、アームが完全に伸長に近づくと容量が減少します。

伸縮式搬送アームは半導体装置のどこで一般的に使用されていますか?

これらは、ロードロック、プロセスチャンバー、保管ストッカーの間でウェーハやカセットを搬送するために頻繁に使用され、コンパクトな格納された設置面積と正確な直線リーチが不可欠です。

伸縮式トランスファーアームにはどのような安全対策が必要ですか?

一般的な対策としては、延長経路に障害物がないことを確認する人感センサー、ペイロードの乱れを軽減するソフト スタート/ストップ モーション プロファイル、占有空間や危険なチャンバー スペースへの延長を防止するインターロックなどがあります。{0}